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Soluções compactas e sem manutenção para o controle de temperatura de seus sistemas de revestimento CVD

O desenvolvimento e produção dos sistemas de revestimento CVD é complexo e requer know-how especial. Isso vale especialmente para o resfriamento. A interação entre os sensores e atuadores é fundamental para os sistemas de resfriamento. Graças à grande seleção de componentes e aos vários anos de experiência, a Bürkert pode oferecer soluções de resfriamento adequadas individualmente para suas necessidades. Estamos sempre ao seu lado como parceiro desde o planejamento até o comissionamento e manutenção.

Limitação de espaço e manutenção complexa nos sistemas de revestimento CVD

Os sistemas CVD precisam oferecer máximo rendimento e trabalhar com economia. Isso quer dizer que o resfriamento efetivo é um fator decisivo. Afinal, o revestimento CVD precisa se assentar apenas sobre o substrato e não no reator.
O tamanho do sistema de revestimento deve ser o mais compacto possível. Por isso, a troca dos componentes é bastante difícil nas soluções comuns com falta de espaço. Muitas vezes, partes inteiras do sistema precisam ser desmontadas para que a peça de desgaste em questão seja acessada. Além disso, a aquisição das peças de troca é bastante demorada.


Fabricação de silício monocristalino

Silício monocristalino

Wafer cortado

Líquido de resfriamento

Reator

Soluções comuns

Reator

Trocador de calor

Soluções de sistema versáteis e de baixa manutenção para suas tarefas de resfriamento

A experiência da Bürkert com fluidos auxilia você com soluções harmonizadas e personalizadas para sistemas de separação de gás. Da combinação de soluções em bloco compactas, soldadas ou fixadas com encaixes em aço inoxidável de alta qualidade surgem soluções fluídicas compactas e sob medida para suas necessidades. A tecnologia Bürkert comprovada e confiável se destaca por sua vida útil prolongada. Isso aumenta a segurança do processo e as manutenções são quase redundantes.

Soluções em blocos compactas, soldadas ou fixadas

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite; in der Mitte Block mit drei Ventilen, Symbol Herz mit Kreispfeil; rechts vier übereinander angeordnete Varianten von Blöcken mit anderen Ventiltypen; Pfeile

 

As vantagens da solução de sistema Bürkert:

 

Blocos fluídicos individuais para tempos mínimos de parada

A solução da Bürkert integra uma série de componentes em um bloco de fluido central ou em vários blocos de acordo com suas necessidades. Para isso, adaptamos nossas soluções ao seu espaço, na abrangência funcional desejada, seu conceito de manutenção e à sua infraestrutura de comunicação digital.

Adaptamos nossas soluções integralmente às suas necessidades

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite, Pfeile; rechts komplexer Block mit Ventilen und Sensoren, Verrohrung

Comparação dos tempos de montagem de uma solução tubular comum com uma solução Bürkert

Neste cálculo ilustrativo mostramos quanto tempo de montagem pode ser economizado com a solução Bürkert em relação ao ser fornecedor de partes. Com base no lema “tempo é dinheiro”, os tempos abreviados de montagem representam economias enormes nos custos.

Solução convencional versus Solução Bürkert

Solução comum como bloco triplo
Montagem individual em conectores tubulares, isto é: Montar 4 peças T, 2 cotovelos, 12 niples duplos, 3 válvula de manga, 8 uniões roscadas, alinhamento dos componentes
Base de cálculo:
48 minutos para a rosca cônica vedante, 2 minutos por conexão de rosca a 24 roscas, 8 minutos para 4 parafusos do suporte de montagem
Solução Bürkert
Tempo de montagem de um bloco de válvulas de: 3 corpos de válvula, 8 uniões roscadas em aço inoxidável, 2 bujões
Base de cálculo:
6 minutos para 3 corpos de válvula, 8 minutos para 8 uniões roscadas em aço inoxidável, 4 minutos para a montagem de 2 bujões
O tempo de montagem é reduzido em cerca de 38 minutos por unidade.
Isso representa uma redução do tempo de montagem em dois terços.

Solução comum como bloco triplo versus solução Bürkert: O tempo de montagem é reduzido em cerca de 38 minutos por unidade. Isso representa uma redução do tempo de montagem em dois terços.