Sensor CMOS de Contorno (bypass)

Um elemento de fluxo laminar no canal principal, gera uma leve queda de pressão, o qual induz uma pequena proporção no fluxo total através do canal de contorno (bypass). O sensor ali posicionado, grava o fluxo de massa diretamente pela medição da temperatura diferencial. Neste caso a medição é realizada num canal de fluxo de formato especial cujas paredes contem um chip de Si no local com um diafragma exposto. Usando a tecnologia CMOSens ®, um resistor de aquecimento é conectado a este diafragma, ao lado de dois sensosres de temperatura colocados antes e apóso resistor. Se o resistor de aquecimento for fornecido com uma tensão constante, a diferença de tensão dos sensores de temperatura, é uma medida do fluxo de massa do gás que escoa através do canal de fluxo através do chip.

Diagrama de função de contorno (bypass) do sensor CMOSSens -   (seção transversal do canal de contorno (bypass)